Silisyum Karbür Taşlama Diski Taşlama Diskine Uygulanması . Taşlama diskleri, yarı iletken endüstrisinde VLSI için silikon gofret üretimi için önemli proses ekipmanlarıdır. Yapılmış diskler Taşlama silikon karbid , öğütme disklerinin, yüksek sertliğe ve düşük aşınma ve silikon dilimlerden termal genleşme katsayısına zemin ve yüksek hızda cilalı olabilir seramik. Özellikle son yıllarda, silikon gofretlerin boyutu giderek

Yeşil silisyum karbür tozu, korundumdan daha yüksek sertlik ve mekanik mukavemete sahiptir Yeşil silisyum karbür tozu, kristal yapısı, yüksek sertliği, güçlü kesme kabiliyeti, kararlı kimyasal özellikleri ve iyi termal iletkenliği ile yeşildir. Mikroskobik şekil altıgen kristallerdir. Silisyum karbürün Mohs sertliği 9.2’dir ve Vickers mikro sertliği 3000-3300 kg/mm’dir. Knoop sertliği 2670-2815 kg/mm’dir ve mikro sertlik 3300

silisyum karbürün yapısı saf silisyum karbürrenksiz ve şeffaf bir kristaldir. Endüstriyel silisyum karbür, safsızlıkların türü ve içeriği nedeniyle açık sarı, yeşil, mavi ve hatta siyahtır ve şeffaflığı saflığına göre değişir. Silisyum karbürün kristal yapısı, altıgen veya eşkenar dörtgen α-SiC ve kübik β-SiC (kübik silikon karbür olarak adlandırılır) olarak ikiye ayrılır. α-SiC, kristal yapısındaki karbon ve