
Yarı İletken Endüstrisinde β-Silisyum Karbürün (β-SiC) Uygulamaları
Yarı İletken Endüstrisinde β-Silisyum Karbürün (β-SiC) Uygulamaları β-SiC, diğer adıyla 3C-SiC, kübik çinko blende kristal yapısına sahiptir ve kararsız bir fazdır. Güç cihazları için ticari olarak baskın olan 4H-SiC’den (α-faz altıgen) farklıdır . Yaklaşık 2,36 eV’lik bir bant aralığına, yüksek elektron hareketliliğine sahiptir, silikon levhalar üzerinde hetero-epitaksiyi destekler ve mükemmel yüksek sıcaklık direnci, plazma aşındırma

