Silisyum Karbür Taşlama Diskine Uygulanması

Silisyum Karbür Taşlama Diski
Taşlama Diskine Uygulanması . Taşlama diskleri, yarı iletken endüstrisinde VLSI için silikon gofret üretimi için önemli proses ekipmanlarıdır. Yapılmış diskler Taşlama silikon karbid , öğütme disklerinin, yüksek sertliğe ve düşük aşınma ve silikon dilimlerden termal genleşme katsayısına zemin ve yüksek hızda cilalı olabilir seramik. Özellikle son yıllarda, silikon gofretlerin boyutu giderek büyümüştür ve bu da silikon gofret öğütme işleminin kalitesi ve verimliliği konusunda daha yüksek gereksinimleri ortaya koymaktadır. Silisyum karbür seramik taşlama disklerinin kullanılması, silisyum gofret öğütme işleminin kalitesini ve verimliliğini büyük ölçüde artıracaktır.